$说明: E:\project16中南大学量子霍尔效应\09_系统上线\中南大学网站首页\网站首页栏目内容\标签素材\2.png$ 实验仪器设备

$说明: E:\project16中南大学量子霍尔效应\09_系统上线\中南大学网站首页\网站首页栏目内容\标签素材\3.png$ 用于虚拟仿真的实物实验装置原型

本虚拟仿真实验模拟使用微纳器件加工系统（图5-7）和低温、强磁场下微纳器件测试平台（图8-9）。

图5电子束曝光系统Raith 150 图6反应离子刻蚀系统图7电子束蒸发镀膜系统

图8 PPMS DynaCool 图9 微纳器件测试系统

计算机及仿真软件

（1）CPU：i5-2400（主频3.1G/缓存6M/4核）)以上；内存： 4G 以上；硬盘： 500G以上；17英寸液晶显示器：分辨率1920×1080；网卡：100M；显卡：Intel HD Graphic 4600 (256M显存)以上；输入设备：鼠标、键盘；安装Windows 7及以上的系统。

（2）微纳器件加工及量子效应测量仿真系统：包含三个模块，即低温强场模块、电子束光刻（EBL）模块、微纳器件测试模块，该仿真软件由中南大学自主研究开发，为网络版，可使用火狐浏览器（Firefox55.0以上版本）、谷歌浏览器（Chrome60.0以上）、或IE11.0等浏览器运行。具有自主知识产权。